氮封閥系統(tǒng)在新創(chuàng)納電子超純水應用
超純水設備的氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內(nèi)壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
本實用新型涉及超純水生產(chǎn)技術領域，具體是一種超純水用氮封裝置?？諝庵泻卸趸肌⒓毦?、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ·m，3分鐘以后就會下降到2MΩ·m左右，因此超純水的儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。
浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司由上海新安納電子科技有限公司投資設立，是一家專門致力于電子級納米磨料和拋光液技術開發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務的高新技術企業(yè)。公司在我國電子級納米磨料依賴進口的形勢下，根據(jù)國家的戰(zhàn)略部署，在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所與海寧市人民政府戰(zhàn)略合作協(xié)議框架下成立。目前主要從事電子級二氧化硅納米磨料和拋光液的技術開發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務。
新創(chuàng)納公司建有先進的電子級磨料和拋光液生產(chǎn)線，擁有完整的磨料和拋光液制備、檢測、拋光驗證系統(tǒng)，是目前中國技術的電子級膠體二氧化硅、藍寶石拋光液和硅片拋光液供應商，產(chǎn)品質(zhì)量和技術能力得到了國內(nèi)外公司的認可。經(jīng)過一期和二期的建設，以及上海新安納公司搬遷至新創(chuàng)納公司相關建設，公司現(xiàn)在已經(jīng)具備年產(chǎn)一萬噸的電子級硅溶膠和拋光液的生產(chǎn)能力，公司研發(fā)和生產(chǎn)的電子級硅溶膠、藍寶石拋光液、金屬拋光液和硅片拋光液已成功應用與數(shù)十家電子和光電子行業(yè)的公司，成功替代了相應的進口產(chǎn)品。
序號 | 品 名 | 型 號 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN15 PN10 進口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力0.5 KPA | 臺 | 1 |
2 | 泄壓閥 | 泄壓閥ZXD-10 DN15 PN10 起跳壓力2KPA | 臺 | 1 |
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥ZFQ DN40 PN10 正壓：3KPA 負壓：-298PA | 臺 | 1 |
4 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN25 PN10 進口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力0.5 KPA | 臺 | 1 |
5 | 泄壓閥 | 泄壓閥ZXD-10 DN25 PN10 起跳壓力2KPA | 臺 | 1 |
6 | 呼吸閥 | 呼吸閥ZFQ DN50 PN10 正壓：3KPA 負壓：-298PA | 臺 | 1 |
超純水設備氮封水箱的工作原理：
超純水設備的氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內(nèi)壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設定值 如：3Kpa。
泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。
具體壓力的設定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。
氮氣 (N2)的純度為99.999％以上。
氮封閥系統(tǒng)在新創(chuàng)納電子超純水應用處理超純水與空氣接觸的方法：
充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。
浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。
（1）當?shù)忾y關閉時，主閥的活塞是在一個密封室內(nèi)，當儲罐壓力等于或大于設定的壓力時，氮封閥膜片就被向上頂起，氣導閥在彈簧的作用下向上移動，把氣導閥上的密封圈緊緊壓在閥座上，關閉了控制氣的進口，同時特殊閥芯室的壓力增加并接近氮氣總管的壓力，此壓力通過內(nèi)部通道，從特殊閥芯室傳到主閥閥芯室。主閥的活塞就處于氮氣總管壓力的作用，由于主閥閥芯上、下所受氣體壓力平衡，所以主閥閥芯在自重和彈簧的作用下將閥門緊密關死。
（2）氮封閥打開時，當儲罐壓力稍微低于設定壓力時，膜片因為感應壓力下降而向下移動，推動氣導閥打開，氮氣經(jīng)過孔板、氣導閥的出口進入儲罐，使儲罐內(nèi)的壓力增加，同時氣導閥的特殊閥芯室的壓力下降，氮氣通過內(nèi)部通道從特殊閥芯室進入主閥閥芯室。由于主閥閥芯的活塞面積大于主閥閥座孔面積，并有彈簧的彈力和主閥的重量，所以當儲罐壓力稍微低于設定點時，特殊閥芯室和主閥閥芯室的壓力降低很小，主閥仍然保持關閉，氮氣只從氣導閥進入儲罐。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見，實施簡單，效果好。超純水設備氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降。
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